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贴合式兆声清洗头概述
槽式兆声清洗的优点在于其兆声换能器面积较大,可以大面积辐射兆声声场,从而更的进行清洗。但缺点是兆声声场在水槽中分布不均匀,距离换能器越远声强越弱,同时声能传递效率较低。喷淋式兆声清洗的优点在于可直接将兆声能量聚焦在清洗物表面,从而可通过运动清洗物和喷头实现清洗物表面均匀的声场分布,且声能传递效率较高。但喷淋式需要较大的清洗液流量,对清洗液浪费较大,并且喷淋式兆声换能器面积较小,从而声能辐射面积较小,清洗速度较慢。
贴合式兆声清洗是一种吸取了槽式和喷淋式两种兆声清洗的优点并摒弃了二者缺点的更优化的兆声清洗技术。它可以以相对大的面积直接将兆声声能均匀的传递到晶圆表面,具有非常高的传递效率和声场均匀性,兆声波清洗系统公司,同时非常节省清洗液。
喷淋式兆声喷头
单点喷淋式兆声清洗,兆声波清洗系统哪家好,无二次污染问题超高频超声波,频率可达3MHz清洗精度高,可去除0.2微米的污渍颗粒超低的声空化效应,不损伤器件表面无金属材质接触液体,无导电物质脱落风险腐性,可耐各种酸碱溶液及。
喷淋式兆声喷头是将兆声换能器嵌入到喷嘴中,以喷嘴的形式对被清洗物如晶圆等进行清洗。它的优势在于可点对点的直接对被清洗物表面进行处理,可让声能焦点直接处于被清洗物表面,然后再通过运动来实现整个二维平面的清洗。这种方式相比于槽式兆声清洗,广西兆声波清洗系统,其兆声转换效率更高,并且避免了槽式兆声清洗中声场强度随水槽液体深度变化而变化的问题,使被清洗物如晶圆表面获得的声能更均匀。另外,由于是喷嘴喷淋的方式,也不会发生像槽式清洗中水槽中的残留的脏污对被清洗物造成二次污染的问题。
超声波清洗新发展
随着应用范围的扩大,兆声波清洗系统多少钱,超声波清洗技术也有了新的发展。传统的超声波清洗设备由于自动化程度不高而难以保证零件清洗的均匀性,近年来逐渐出现了自动化程度高、灵活性强的自动化超声波清洗设备。不但实现了超声波清洗的自动化控制和批量作业,还稳定了清洗工艺、提高了清洗质量。这类超声波清洗设备将超声波清洗和化学清洗、漂洗、脱水、烘干等工艺结合,因而有非常高的清洗效率。在传动、烘干、清洗方面通常使用PLC控制,实现了清洗过程的全自动化。
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